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精密微小孔激光打孔机最小孔径0.02mm

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精密微小孔激光打孔机可以做到最小孔径至0.02mm,适用于金属和陶瓷等精密微孔加工。
高功率光纤激光器发射激光,振镜高速精密偏转激光,配合精密远心场镜聚焦,实现对薄板材料(厚度小于1mm,铝、铜、不锈钢、各类陶瓷等)高速精密切割打孔和冲击打孔,通过直线XY平台扩展加工幅面,孔的一致性极佳,切割光滑,孔壁垂直性好。

精密微小孔激光打孔机特点

1. 精心选用进口高功率高稳定性光纤激光器,接近衍射极限光束质量,是微孔加工理想光源
2. 进口高速精密振镜和精密远心场镜,保证打孔一致性和重复精度;
3. 精密视觉检测和校正功能,保证系统长期精度,检测孔径,方便工艺调试;
4. 直线电机XY平台,长期免维护,微米级定位和重复精度,扩展加工幅面;
5. 出色的控制系统,优异的加工路径优化功能,使得微孔尺寸和圆度精度在2微米以内。
6. 最小孔径至0.02mm,适用于金属和陶瓷等精密微孔加工。

精密微小孔激光打孔机主要技术参数


 

类别

参数

NF-FMDK50

 

 

激光器

波长

1064

功率

50W

调制频率

50~1000kHz

光束质量M2

1.3

功率稳定性(8h

3%

 

 

振镜(进口)

扫描范围

50*50mm

重复精度

1μm

定位精度

≤±2μm

扫描速度

3.5m/s

定位速度

12m/s

 

 

XY工作台

行程

200*200mm(可定制)

重复精度

≤±1μm

定位精度

≤±3μm

加速度

1G

速度

800mm/s

 

Z

行程

150mm

重复精度

≤±3μm

定位精度

≤±5μm

CCD监测定位

光学倍率

10X

分辨率

0.1μm

区域拼接

精度

±3μm

 

 

 

加工能力

最小孔径

20μm

加工厚度

1mm

孔加工精度

±3μm

重复精度

≤±2μm

最大深宽比

20:1

加工材料

硅片、金属及合金、陶瓷

冷却

风冷

吸尘

三重粉尘净化

电力

220V 50~60Hz 12A

功耗

1200W


 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

激光打孔样品

 

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